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線性測量構(gòu)建
要進(jìn)行線性測量，需使用隨附的兩個(gè)外加螺絲將其中的一個(gè)線性反射鏡安裝在分光鏡上，這個(gè)組合裝置就是“線性干涉鏡”。線性干涉鏡放置在激光頭和線性反射鏡之間的光路上，用它的反射光線形成激光光束的參考光路，另一束光入射到線性反射鏡，通過線性反射鏡的線性位移來實(shí)現(xiàn)線性測量。如下圖所示
激光干涉儀可用于精密機(jī)床、三坐標(biāo)的定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度的測量。測量時(shí)在工作部件運(yùn)動過程中自動采集并及時(shí)處理數(shù)據(jù)。
準(zhǔn)直平臺/傾斜工作臺的測量：由于角度鏡組的不同安裝方式，其測量結(jié)果代表不同方向的角度值。您可以結(jié)合實(shí)際需要進(jìn)行安裝、測量。
在直線度測量過程中，可以由直線度干涉鏡或者直線度反射鏡運(yùn)動所產(chǎn)生相對于運(yùn)動軸的橫向移動來進(jìn)行測量，一般盡可能的采用直線度干涉鏡相對于直線度反射的運(yùn)動，這樣操作有利于提高測量的準(zhǔn)確性和精度。直線度測量可以對水平面和垂直面進(jìn)行測量，這取決于直線度干涉鏡和反射鏡安裝的方法。
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